LAUDA Semistat 等离子刻蚀温度控制系统S 2400

进口仪器实验仪器 24-07-14 11:22:36

LAUDA Semistat 等离子刻蚀温度控制系统,通过对静电卡盘 (ESC,E-chuck) 的动态温度控制,为等离子刻蚀应用提供稳定的温度控制。LAUDA Semistat基于 Peltier 元件传热理论设计,与传统压缩机系统相比,可以节省高达90%的能耗。体积小,占地空间少,可选择安装在地板下的夹层中,节省洁净室空间。LAUDA Semistat 可以快速和精准地将过程温度控制在 ±0.1 K,从而提高晶圆间均质性。

产品特点:

无压缩机和制冷剂的低能耗系统,运行安静、振动小

带清洁干燥空气 (CDA) 吹扫接口,可防止冷凝水产生

结构紧凑,重量轻,占地面积小,非常适合安装于地板之下导热液体用量极少

无需过滤器或 DI 组件

水冷型

典型应用:

在半导体生产中,等离子蚀刻是工艺链的核心部分,有干法蚀刻和湿法蚀刻之分。在干法蚀刻中,半导体板(晶片)在真空蚀刻室中进行等离子处理。等离子体中的离子轰击晶片,从而使材料脱离。例如,硅晶片上的氧化层可以用这种方法去除,然后涂上掺杂层(添加了外来原子,因此具有一定的导电性)。

等离子体的温度会影响蚀刻的速度和效率。如果温度过低,等离子体就不够活跃,无法有效地烧蚀材料。如果温度过高,材料可能会被过度烧蚀,导致误差和损坏。因此,在半导体生产中,对等离子体温度进行精确的控制非常重要,因为晶片的加工范围在微米和纳米之间。即使温度发生微小变化,也会导致蚀刻结构的尺寸和形状发生显著变化。LAUDASemistat 可以为干法蚀刻这一敏感工艺提供专门的温度控制解决方案。

产品参数:

工作温度范围 -20℃ ... 90 °C

温度稳定性 0.1°C

加热器功率Z小 6 kW

Z小填充容量 1.25 L

Z大填充容量 1.6 L

外形尺寸(宽 x 深 x 高) 116 x 300 x 560 mm

重量 25 kg

冷却功率输出

根据不同的工艺温度和冷却水流量

LAUDA Semistat 等离子刻蚀温度控制系统

同系列其他型号

仪器推荐
  1. LAUDA ECO 制冷型带外循环恒温浴槽RE 630 G

    LAUDA ECO 制冷型带外循环恒温浴槽RE 630 G

    LAUDA ECO 制冷型带外循环恒温浴槽 LAUDA ECO 系列,操作简单,应用广泛,提供 Gold 浸入式恒温器(彩色 TFT 显示屏),有不同的接口模块可做配置。 循环泵有 6 个级别可调,冷却能力从 180……

    LAUDA 2024-07-15

  2. LAUDA Hydro 蒸发水浴H 9 V

    LAUDA Hydro 蒸发水浴H 9 V

    LAUDA Hydro 蒸发水浴 - H 9 V LAUDA Hydro H 9 V Vaporization water bath 230 V; 50/60 Hz Part Number: L003110 水浴蒸发是一种常见的实验方法,可用于分离、纯化、浓缩化合物。水浴……

    LAUDA 2024-07-05

  3. TD 环/片表面张力测定仪

    TD 环/片表面张力测定仪

    LAUDA TD 张力计按照标准,使用 Du Noüy 环和 Wilhelmy 片进行表面张力的测量,也可以根据阿基米德原理测定密度,或者测定小重量。带样品盘的测量台可以无任何跳动地顺畅滑动,以便将 Wilhelmy……

    LAUDA 2024-07-11

  4. LAUDA Proline 桥式恒温控制器 30300℃PBD C

    LAUDA Proline 桥式恒温控制器 30300℃PBD C

    LAUDA Proline 桥式恒温控制器 30-300℃,带 Varioflex 泵,适用于任意浴槽的温度控制。PBD C 型号有高压泵,可实现深度达 320 mm 浴槽的温度控制。此外,可为宽度 310 至 550 mm 的浴槽提供……

    LAUDA 2024-03-14

  5. LAUDA PRO 外循环高低温一体机 40200℃RP 240 EC

    LAUDA PRO 外循环高低温一体机 40200℃RP 240 EC

    LAUDA PRO 外循环恒温器 -40-200℃ - 型号 RP 240 EC PRO 循环恒温器专为Z高 250°C 的外部应用而设计。标配的集成冷却盘管可提供冷却功能,0.6 kW 和 0.8 kW 的冷却输出功率,以及极小的内部填……

    LAUDA 2024-07-15

  6. Proline Kryomate 制冷型超低温恒温浴槽RP 4050 C

    Proline Kryomate 制冷型超低温恒温浴槽RP 4050 C

    LAUDA Proline Kryomate 制冷型超低温恒温器 Proline Kryomate 是立在地面上的制冷恒温器,采用新技术,成本效益高且性价比高。Proline Kryomate 系列分为风冷或水冷规格,浴槽开口大,并且浴……

    LAUDA 2024-03-28

仪器新品
  1. LAUDA PRO 外循环高低温一体机 40200℃RP 240 EC

    LAUDA PRO 外循环高低温一体机 40200℃RP 240 EC

    LAUDA PRO 外循环恒温器 -40-200℃ - 型号 RP 240 EC PRO 循环恒温器专为Z高 250°C 的外部应用而设计。标配的集成冷却盘管可提供冷却功能,0.6 kW 和 0.8 kW 的冷却输出功率,以及极小的内部填……

    LAUDA 2024-07-15

  2. LAUDA Hydro 带搅动通用水浴H 16 A

    LAUDA Hydro 带搅动通用水浴H 16 A

    LAUDA Hydro 带搅动通用水浴,25-100℃/0.1℃:可适用于各种实验室应用场景 LAUDA Hydro 系列水浴槽,确保均匀的温度分布,而不会造成局部过热,水浴槽容积从 4 升至 41 升不等,专为生物学……

    LAUDA 2024-07-15

  3. LAUDA Ultracool 节能冷水机 1035℃UC 100

    LAUDA Ultracool 节能冷水机 1035℃UC 100

    LAUDA ULTRACOOL 节能冷水机,步入温控新阶段 LAUDA Ultracool 节能冷水机 -10-35℃ 高能效,可节省高达 50% 的成本 LAUDA Ultracool新一代工艺循环冷水机,在产品开发时重点关注于节能,……

    LAUDA 2024-07-15

返回顶部小火箭